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3D 검사
3D 검사
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- 고성능 3D 측정 시스템
- 3 개의 고분해능 전동 축 (X, Y, Z)
- 포인트 및 라인 센서 용 3D 처리 소프트웨어 패키지
- 사용 가능한 치수 : 100 x 100 mm / 200 x 200 mm / 300 x 300 mm
- 디지털 엔코도와 측정 데이터 동기화
- 다양한 출력지원 : RS232/RS485/USB/이더넷
| X &Y axes | Z axis | ||
| Configuration⑴ | 3M - 1R | 3M - 3R | Both |
| Travel | 100mm | 100mm | 50mm |
| Encoder | No | Yes | Yes |
| Position accuracy | 10μm / 100mm | 1μm / 100mm | 1μm / 100mm |
| Position Resolution | 0.1μm | 0.1μm | 0.1μm |
| Flatness | 1μm / 100mm | 1μm / 100mm | 1μm / 100mm |
| Max. speed | 20mm / s | 20mm / s | 5mm / s |
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