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Model : AWI - 350: 검사 대상 : Wafer; 검사 항목 : EdgeChipping, SurfaceStain, Edae 면폭 측정등; 6인치 8인치 겸용 , 12인치 대응 가능; 멀티카세트 장착; 옵션 : SPC 및 MES 연동하여 내부 공정 및 계측기와 연동 가능

이미지 프로세싱을 기술을 활용한 최상의 얼룩 검출

< 처리전 >

< 이미지 프로세싱 처리 >

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